RTS-4型四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶矽物理測試方法國家標準並參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用於測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。

 

儀器由主機、測試台、四探針探頭、電腦等部分組成，測量資料既可由主機直接顯示，亦可由電腦控制測試採集測試資料到電腦中加以分析，然後以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。

 

儀器採用了最新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量範圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

 

本儀器適用於半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

 

 

RTS-4型四探針測試儀前面板

 

 

 

 

 

 

 

 

RTS-4型四探針軟體測試系統