RTS-5型雙電測四探針測試儀採用了四探針雙電測組合(亦稱雙位元組合)測量新技術,將範德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利 用電流探針、電壓探針的變換，在電腦控制下進行兩次電測量，把採集到的資料在電腦中加與分析，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械遊移 等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由於每次測量都是對幾何因素的影響進行動態的自動修正，因此 顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結果的準確度。所有這些，用目前大量使用的常規四探針測量方法所生產的儀器是無法實現的。

儀器採用了最新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量範圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。   本儀器適用於半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

RTS-5型雙電測四探針軟體測試系統